Описание
Диаметр столика: 210 мм
Максимальный диаметр пластин: 200 мм (8 дюймов)
Общее перемещение по XY: 220 х 220 мм
Точность позиционирования по XY: 3 мкм
Моторизированные оси: XYZT + XY микроскоп
Угол поворота столика: 10 градусов
Конструкция: Гальванически изолированный столик
Изоляция: > 5 ГОм
Количество одновременно устанавливаемых микропозиционеров: 4
Габариты: 720х700х600 мм
Масса: 150 кг