Описание
Размеры рабочей камеры, мм: 1500х1000х650
Вакуумная система обеспечивает в рабочем объеме остаточное давление: 5 * 10^5 Па
Рабочая: 1-20 мм/мин
Транспортная: 100±20 мм/мин
Погрешность позиционирования штока: 0,5 мм
Ход штока механизма перемещения контейнера: 400±5 мм
Скорость перемещения, мм/мин: 100
Ход перемещения, мм: 180
Угол поворота: 90 градусов
Расход охлаждающей воды, м3/час, не более: 5
Габаритные размеры установки, мм: 2300х1130х1800
Масса установки, кг: 1300