Описание
Количество одновременно перекладываемых пластин: Ø150 мм 25,50 шт.; Ø100 мм 50 шт.
Уровень привносимой дефектности на одной пластине частиц размером: не более 0,1 мкм; 1 см2 не более 2 – 3 шт.
Длина: 620 мм
Ширина: 45 мм
Высота: 665 мм
Масса: не более 65 кг