Описание
Количество перекладываемых пластин: 50 шт./цикл
Производительность: не менее 20 циклов/час
Время проведения одного цикла перекладки: не более 3 мин
Потребляемая электрическая мощность: 0,05 кВт (max)
Уровень привносимой дефектности на одной пластине, частиц размером: не более 0,1 мкм; на см2 не более 2-3 частиц
Количество приведенных в негодность пластин: 1/10000 шт.
Длина: 630 мм
Ширина: 510 мм
Высота: 950 мм
Масса: 60 кг