КРЭП

Каталог радиоэлектронной продукции

КРЭП

Каталог радиоэлектронной продукции

Ростовая установка РЕДМЕТ-60 МУ

Производитель: ООО “Термотрон-Завод”

Установка предназначена для выращивания монокристаллов кремния.

Состав основных модернизированных узлов установки:

— Рабочая камера

— Камера кристалла

— Шибер

— Привод верхний

— Привод нижний

— Колона

— Выгружатель кристалла

Артикул: 0000003272 Категория:

Описание

Диаметр слитка, мм: 150…250

Загрузка, кг тигель 18″ (457 мм); тигель 20″ (508 мм): 90; 120

Максимальный ход затравки, мм: 3000

Максимальный ход тигля, мм: 320

Дверь шлюзовой камеры, мм: 360х1800

Диаметр горловины рабочей камеры, мм: 270

Скорость подъема затравки, мм/мин рабочая; ускоренная: 0,05-8,0; 1-300

Скорость подъема тигля, мм/мин рабочая; ускоренная: 0,01-4; 1-50

Вращение затравки (реверсивное), об/мин: 1-30

Вращение тигля (реверсивное), об/мин: 1-20

Остаточное давление в камере предварительное, мм рт. ст.: 1х10-3

Рабочее давление инертного газа в камере, мм рт. ст: 2-30

Расход инертного газа, л/час: 500-3000

Расход охлаждающей воды, м3/час: 15…20

Площадь занимаемая оборудованием, м: 27

Ориентировочная масса, кг: 4500

Все результаты поиска