Описание
Диаметр столика: 160
Максимальный диаметр пластин: 150 мм (6 дюймов)
Общее перемещение по XY: 195 х 215 мм
Точное перемещение по XY: 25 x 25 мм (микрометрический винт)
Угол поворота столика: ± 10 градусов
Конструкция: Гальванически изолированный столик
Изоляция: > 5 ГОм
Подъем стола, мм, не менее: Перемещение – 0,2; Загрузка пластины – 2,0
Угол поворота стола, градус, не менее: ±5
Количество одновременно устанавливаемых микропозиционеров: 4
Габариты: 460х450х480 мм
Масса: 45-50 кг