Описание
Количество реакторов: 3 шт.
Диаметр обрабатываемых пластин: 150 мм
Диапазон температур: 400-1050° С
Нестабильность поддержания температуры (средне – квадратичное отклонение в рабочей тепловой зоне) в интервале: от 400°С до 600°С; 1,5; от 600°С до 800°С; 0,75; от 800°С до 1050°С; 0,5