Производитель: ООО “Термотрон-Завод”
Система малогабаритная нейтрализации с циркуляцией нейтрализующей жидкости предназначена для эксплуатации совместно с отдельными системами физико-термического оборудования (установки пирогенного и сухого окисления, диффузии) для производства ИЭТ. Система может применяться автономно или в комплекте с групповым или участковым скруббером.
Объем абсорбционного раствора: 50 л
Производительность циркуляционного насоса: 2 м3/час
Аэродинамическое сопротивление системы: не более 500 Па
Потребляемая электрическая мощность: 2,5 кВт (max)
Электропитание: 380/220 В; 50 Гц
Нейтрализуемые реагенты: Н2О2, ТхЭ, N2, РОСI3, SiH4, РН3
Габаритные размеры: 1700х800х1600 мм
Масса: 400 кг